设备优势

• 功能（néng）性能优势

  当前业内最高（gāo）性能，
  每小时出（chū）片量（WPH）超（chāo）过16000，远高于行业10000～12000的平均水平
  检测（cè）量测精度达到0.8um
  碎片率稳定低于0.05%
  漏检（jiǎn）率（lǜ）<0.1%，过杀率< 0.05%

• 机（jī）电优势

  上料：两套缓存机（jī）构无缝衔接上（shàng）料；兼（jiān）容多尺寸（cùn）花篮 下（xià）料（liào）：采用伯努利悬浮式下料装置（zhì），保障极低的碎（suì）片（piàn）率；并行多组独立下（xià）料装置；下料盒无缝切换（huàn）
  电气优势（shì）：实时监控（kòng）物料，提示报警信息，定位（wèi）问题工（gōng）位；各（gè）工位（wèi）独立控（kòng）制，精（jīng）准调控

  
• 检（jiǎn）测优（yōu）势

  多工位检（jiǎn）测硅片四周崩边（biān）及表面缺陷，采用识别硅（guī）材质的深度学习模（mó）型（xíng），高（gāo）精度完成检（jiǎn）测

  
• 量测优势

  上（shàng）下（xià）双线扫相机精准识别厚度、平面度（dù）和线痕
  在检测阶段提前剔除隐（yǐn）裂和碎片，减少后续下（xià）料分拣（jiǎn）负担